Ni ọdun 2020, diẹ sii ju awọn eerun aimọye kan ni a ṣejade ni agbaye, eyiti o dọgba si awọn eerun igi 130 ti eniyan kọọkan lo lori ile aye.Sibẹsibẹ paapaa, aito chirún aipẹ tẹsiwaju lati fihan pe nọmba yii ko tii de opin oke rẹ.
Botilẹjẹpe awọn eerun igi le ti ṣejade tẹlẹ lori iru iwọn nla bẹ, iṣelọpọ wọn kii ṣe iṣẹ-ṣiṣe ti o rọrun.Ilana ti iṣelọpọ awọn eerun igi jẹ eka, ati loni a yoo bo awọn igbesẹ mẹfa to ṣe pataki julọ: fifisilẹ, ibora photoresist, lithography, etching, ion implantation, ati apoti.
Ifipamọ
Igbesẹ ifisilẹ bẹrẹ pẹlu wafer, eyiti o ge lati 99.99% silinda ohun alumọni mimọ (ti a tun pe ni “silicon ingot”) ati didan si ipari didan pupọ, ati lẹhinna fiimu tinrin ti oludari, insulator, tabi ohun elo semikondokito ti wa ni ipamọ. pẹlẹpẹlẹ wafer, ti o da lori awọn ibeere igbekale, ki akọkọ Layer le ti wa ni titẹ lori rẹ.Igbesẹ pataki yii ni igbagbogbo tọka si bi “ifipamọ”.
Bi awọn eerun igi di kere ati kere, awọn ilana titẹ sita lori wafers di eka sii.Ilọsiwaju ni ifisilẹ, etching ati lithography jẹ bọtini lati jẹ ki awọn eerun kere kere nigbagbogbo ati nitorinaa ṣiṣe ilọsiwaju ti Ofin Moore.Eyi pẹlu awọn imọ-ẹrọ imotuntun ti o lo awọn ohun elo titun lati jẹ ki ilana ifisilẹ ni kongẹ diẹ sii.
Photoresist aso
Awọn wafers lẹhinna ni a bo pẹlu ohun elo ti o ni itara ti a pe ni “photoresist” (ti a tun pe ni “photoresist”).Awọn oriṣi meji ti photoresists wa - “awọn photoresists rere” ati “awọn photoresists odi”.
Iyatọ akọkọ laarin rere ati odi photoresists jẹ ilana kemikali ti ohun elo ati ọna ti photoresist ṣe idahun si ina.Ninu ọran ti awọn photoresists rere, agbegbe ti o farahan si ina UV yipada eto ati di tiotuka diẹ sii, nitorinaa ngbaradi fun etching ati ifisilẹ.Awọn photoresists odi, ni apa keji, polymerize ni awọn agbegbe ti o farahan si ina, eyiti o jẹ ki wọn nira sii lati tu.Photoresists rere jẹ lilo julọ ni iṣelọpọ semikondokito nitori wọn le ṣaṣeyọri ipinnu giga, ṣiṣe wọn ni yiyan ti o dara julọ fun ipele lithography.Bayi nọmba kan ti awọn ile-iṣẹ ni ayika agbaye ti o ṣe agbejade awọn olutayo fun iṣelọpọ semikondokito.
Fọtolithography
Photolithography jẹ pataki ninu ilana iṣelọpọ chirún nitori pe o pinnu bii kekere awọn transistors lori ërún le jẹ.Ni ipele yii, a fi awọn wafers sinu ẹrọ fọtolithography ati pe o farahan si ina ultraviolet jinlẹ.Ni ọpọlọpọ igba wọn kere ju igba ẹgbẹẹgbẹrun lọ ju iyanrin lọ.
Imọlẹ jẹ iṣẹ akanṣe lori wafer nipasẹ “awo-boju-boju” ati awọn opiti lithography (lẹnsi ti eto DUV) dinku ati dojukọ apẹrẹ iyika ti a ṣe apẹrẹ lori awo iboju boju-boju lori photoresist lori wafer.Gẹgẹbi a ti ṣapejuwe tẹlẹ, nigbati ina ba de photoresist, iyipada kemikali kan waye ti o ṣe atẹjade apẹrẹ lori awo iboju boju-boju lori ibora photoresist.
Gbigba apẹrẹ ti o han ni deede jẹ iṣẹ-ṣiṣe ti o ni ẹtan, pẹlu kikọlu patiku, ifasilẹ ati awọn abawọn ti ara tabi kemikali gbogbo ṣee ṣe ninu ilana naa.Ti o ni idi nigba miiran a nilo lati mu apẹẹrẹ ifihan ikẹhin ṣiṣẹ nipa ṣiṣe atunṣe apẹrẹ pataki lori iboju-boju lati jẹ ki apẹrẹ ti a tẹjade wo ọna ti a fẹ.Eto wa nlo “lithography iṣiro” lati darapo awọn awoṣe algorithmic pẹlu data lati ẹrọ lithography ati awọn wafers idanwo lati ṣe agbejade apẹrẹ boju-boju ti o yatọ patapata si apẹẹrẹ ifihan ikẹhin, ṣugbọn iyẹn ni ohun ti a fẹ lati ṣaṣeyọri nitori iyẹn nikan ni ọna lati gba awoṣe ifihan ti o fẹ.
Etching
Igbesẹ ti o tẹle ni lati yọkuro photoresist ti o bajẹ lati ṣafihan ilana ti o fẹ.Lakoko ilana “etch”, wafer ti wa ni ndin ati idagbasoke, ati pe diẹ ninu photoresisist ti wa ni pipa lati ṣafihan ilana 3D ikanni ṣiṣi.Awọn etching ilana gbọdọ dagba conductive awọn ẹya ara ẹrọ gbọgán ati àìyẹsẹ lai compromising awọn ìwò iyege ati iduroṣinṣin ti awọn ërún be.Awọn imọ-ẹrọ etching ti ilọsiwaju gba awọn aṣelọpọ chirún laaye lati lo ilọpo meji, mẹrin ati awọn ilana ti o da lori spacer lati ṣẹda awọn iwọn kekere ti awọn aṣa chirún ode oni.
Bi photoresists, etching ti pin si awọn iru "gbẹ" ati "tutu".Gbẹ etching nlo gaasi lati setumo ilana ti o han lori wafer.Etching tutu nlo awọn ọna kemikali lati nu wafer naa.
Chirún kan ni awọn dosinni ti awọn fẹlẹfẹlẹ, nitorinaa etching gbọdọ wa ni iṣakoso ni pẹkipẹki lati yago fun ibajẹ awọn ipele ti o wa labẹ ipilẹ ti ọna chirún-Layer pupọ.Ti idi ti etching ni lati ṣẹda iho kan ninu eto, o jẹ dandan lati rii daju pe ijinle iho naa jẹ deede.Diẹ ninu awọn apẹrẹ chirún pẹlu to awọn fẹlẹfẹlẹ 175, gẹgẹbi 3D NAND, jẹ ki igbesẹ etching jẹ pataki pataki ati nira.
Ion abẹrẹ
Ni kete ti ilana naa ba ti tẹ sori wafer, wafer ti wa ni bombarded pẹlu awọn ions rere tabi odi lati ṣatunṣe awọn ohun-ini adaṣe ti apakan apẹrẹ naa.Gẹgẹbi ohun elo fun awọn wafers, ohun alumọni ohun elo aise kii ṣe insulator pipe tabi adaorin pipe.Awọn ohun-ini adaṣe ti Silikoni ṣubu ni ibikan laarin.
Ṣiṣakoṣo awọn ions ti o gba agbara sinu kirisita ohun alumọni ki ṣiṣan ti ina le jẹ iṣakoso lati ṣẹda awọn iyipada itanna ti o jẹ awọn bulọọki ile ipilẹ ti chirún, awọn transistors, ni a pe ni “ionization”, ti a tun mọ ni “iṣiro ion”.Lẹhin ti awọn Layer ti a ti ionized, awọn ti o ku photoresist lo lati dabobo awọn un-etched agbegbe ti wa ni kuro.
Iṣakojọpọ
Ẹgbẹẹgbẹrun awọn igbesẹ ni a nilo lati ṣẹda ërún lori wafer, ati pe o gba diẹ sii ju oṣu mẹta lọ lati apẹrẹ si iṣelọpọ.Lati yọ awọn ërún lati wafer, o ti wa ni ge sinu olukuluku awọn eerun lilo a Diamond ri.Awọn eerun wọnyi, ti a pe ni “iku igboro,” ti pin lati wafer 12-inch, iwọn ti o wọpọ julọ ti a lo ninu iṣelọpọ semikondokito, ati nitori iwọn awọn eerun igi yatọ, diẹ ninu awọn wafers le ni awọn ẹgbẹẹgbẹrun awọn eerun igi, lakoko ti awọn miiran ni diẹ ninu diẹ. mejila.
Awọn wọnyi ni igboro wafers ti wa ni ki o si gbe lori kan "sobusitireti" - a sobusitireti ti o nlo irin bankanje lati darí awọn input ki o si wu awọn ifihan agbara lati igboro wafer si awọn iyokù ti awọn eto.Lẹhinna o ti bo pelu “ifọwọ ooru”, kekere kan, apoti aabo irin alapin ti o ni itutu lati rii daju pe chirún naa duro ni itura lakoko iṣẹ.
Ifihan ile ibi ise
Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd ti n ṣe iṣelọpọ ati tajasita ọpọlọpọ awọn gbigbe kekere ati awọn ẹrọ ibi lati ọdun 2010. Ni anfani ti R&D ọlọrọ tiwa, iṣelọpọ ikẹkọ daradara, NeoDen gba orukọ nla lati ọdọ awọn alabara agbaye.
pẹlu wiwa agbaye ni awọn orilẹ-ede to ju 130 lọ, iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ, iṣedede giga ati igbẹkẹle ti NeoDenAwọn ẹrọ PNPjẹ ki wọn jẹ pipe fun R&D, adaṣe adaṣe ati kekere si iṣelọpọ ipele alabọde.A pese ojutu ọjọgbọn ti ohun elo SMT iduro kan.
Fi kun: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, China
foonu: 86-571-26266266
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 24-2022